等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的獨特現象和物質。
典型等離子是由電子、離子、自由基和質子組成。就像把固體轉變成氣體需要能量一樣, 產生離子體也需要能量。
等離子體能夠導電,與電磁力起反應。
【奧坤鑫 OKSUN】小型等離子清洗刻蝕機中產生等離子體的裝置, 是在密封容器中設置兩個電極形成電場的,然后實現一定的真空度, 隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,在電場作用下,發生碰撞而形成等離子體,產生輝光放電。
輝光放電時的氣壓大小、放電功率、氣體成分及流動速度和材料類型等對材料刻蝕效果有很大影響。
由于等離子體產生的輝光放電是真空紫外光,其對蝕刻率有十分積極的影響,氣體中包含中性粒子、離子和電子?!?a href="http://www.tjmide.cn/">等離子噴槍】
中性粒子和離子溫度102K-103K’,電子能量對應的溫度高達105K,被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”,表現為電中性(準中性);氣體所產生的自由基和離子活性很高,其能量幾乎足以破壞所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應。
等離子體中粒子的能量一般為幾個至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結合鍵能(幾個至十幾電子伏特),完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵,但遠低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能。【卷對卷等離子處理設備】