我們先簡單的定義什么是等離子體,等離子體是一團含有正離子、電子、自由基及中性氣體原子所組成的會發光的氣體團,如日光燈、霓紅燈發亮的狀態,就是屬于等離子體發亮的狀態。
等離子體的產生最主要是靠電子去撞擊中性氣體原子,使中性氣體原子解離而產生等離子體,但中性氣體原子核對其外圍的電子有一束縛的能量,我們稱它為束縛能。【真空等離子設備】
外界的電子能量必須大于此束縛能,才會有能力解離此中性氣體原子,但是,此外界的電子往往是能量不足的,沒有解離中性氣體原子的能力,所以,我們必須用外加能量的方法給原子電子能量,使電子有利用解離此中性氣體原子。
要外加能量給電子,最簡單的方法就是用平行電極板加一直流電壓,電子在電極中,會被帶正電的電極所吸引而加速,在加速的過程中電子可以累積能量,當電子的能量達到某一程度時,就有能力來解離中性氣體原子,能產生高密度等離子體的方法有很多種,在此我們簡單的介紹一些能產生高密度等離子體的方法。【卷對卷等離子處理設備】