【奧坤鑫 OKSUN】什么是等離子清洗機(jī)?
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)也叫等離子清洗機(jī)、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。
等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學(xué)法去除材料表面污染物。氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室，反應(yīng)氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。
【真空等離子設(shè)備】等離子體基礎(chǔ)知識(shí)：
等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。
等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗器就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。【卷對(duì)卷等離子處理設(shè)備】
