在用等離子清洗機清洗后，被清洗的物體已經非常干燥，可以不干燥地送到下一個工序。等離子清洗機不使用三氯乙烯ODS作為有害溶劑，清洗后不會產生有害污染物，是一種有利于環境保護的綠色清洗方法。等離子清洗機可以穿透物體的微小孔和凹陷，完成清洗任務，而不需要過多考慮待清洗物體形狀的影響。整個清洗過程可以在幾分鐘內完成，因此具有效率高的特點。
等離子清洗機的清洗特點是可以處理不同的基片，而不管處理對象是什么。無論是金屬、半導體、氧化物還是聚合物材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂和其他聚合物)，都可以通過等離子體進行良好的處理。因此，它特別適用于不耐熱和耐溶劑的基材。還可以選擇性地對材料的整體、局部或復雜結構進行局部清洗。等離子清洗機可以在清洗和去污的同時改變材料本身的表面性質。例如改善表面的潤濕性和膜的粘附性。
等離子清洗機具有高精度的控制裝置，時間控制精度非常高。正確的等離子清洗不會在表面產生損傷層，保證了表面質量。由于是在真空中進行的，因此不會污染環境，并確保清潔后的表面不會被二次污染所污染。由于等離子體中存在電子、離子和自由基等活性粒子，所以很容易與固體表面發生反應。等離子體清洗主要依靠等離子體中活性粒子的“活化”來去除物體表面的污漬。
等離子清洗機包括反應室、電源和真空泵組。將樣品放入反應室內，真空泵開始抽至一定真空度，啟動電源產生等離子體，然后向反應室內引入氣體，使室內的等離子體成為反應等離子體，等離子體與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。利用等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，實現對材料表面的活化、刻蝕、去污等工藝處理，達到改善材料摩擦系數、附著力、親水性等各種表面性能的目的。
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