真空等離子清洗機的設備尺寸和占地面積會根據具體的型號、設計和應用需求而有所不同。一般來說，這些設備的尺寸可以從小型桌面式到大型工業級不等。
對于小型桌面式真空等離子清洗機，其外部尺寸可能只有幾十厘米到一米左右，適用于科研、實驗室等環境，方便放置于實驗桌或手套箱內。
而大型工業級真空等離子清洗機則可能具有更大的尺寸，其外部尺寸可能達到數米，甚至更大。這些大型設備通常用于生產線上的大規模清洗作業，需要占用較大的生產空間。
此外，還需要考慮設備的占地面積，包括設備本身的尺寸以及設備周圍所需的操作空間和維護空間。因此，在選擇真空等離子清洗機時，需要根據具體的生產需求和場地條件來確定合適的設備尺寸和占地面積。
