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首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 真空等離子處理設(shè)備 > 自動(dòng)化等離子處理設(shè)備

在線式真空等離子設(shè)備 PR-OL05-LR

特點(diǎn)：
1、進(jìn)料流水線運(yùn)動(dòng)模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動(dòng)，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達(dá)180載板/小時(shí)；
3、所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動(dòng)方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

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編號(hào)	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	整機(jī)規(guī)格	150020002150mm（包含F(xiàn)FU及報(bào)警指示燈等）
2	單次處理數(shù)量	3片載板
3	腔體軌道長(zhǎng)度	380mm
4	腔體軌道寬度兼容范圍	100-248mm
5	腔體內(nèi)尺寸	97440065mm
6	設(shè)備產(chǎn)能	180載板/小時(shí)
7	CT	60秒
8	LOAD&UNLOAD	不具備
9	掃碼	進(jìn)出掃碼載具二維碼
10	凈化防護(hù)	百級(jí)FFU凈化過(guò)濾系統(tǒng)
特點(diǎn)： 1、進(jìn)料流水線運(yùn)動(dòng)模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動(dòng)，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達(dá)180載板/小時(shí)； 3、所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動(dòng)方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。用途：IC封裝中引線框架上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗在線式真空等離子清洗機(jī)自動(dòng)搬運(yùn)物料的設(shè)計(jì)要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運(yùn)過(guò)成,提高了設(shè)備自動(dòng)化水平。